一、项目成果简介

本项目基于0.18um CMOS工艺制备了一款多频段太赫兹探测器芯片，通过多环嵌套的方式分别设计了圆形、菱形和单双环形片上天线，实现了频率在280GHz、290GHz、320GHz、600GHz以及806GHz的太赫兹信号探测。

芯片显微照片

二、性能指标

带双环片上天线的探测器（Detector1）电压响应度为366.6V/W，噪声等效功率为0.578nW/Hz1/2，带圆形开槽片上天线的探测器（Detector2）电压响应度为1286.6V/W，噪声等效功率为0.211nW/Hz1/2，带菱形片上天线的探测器（Detector3）电压响应度为366.3V/W，噪声等效功率为0.594nW/Hz1/2，带单环差分片上天线的探测器（Detector4）电压响应度为701.2V/W，噪声等效功率为0.261nW/Hz1/2。

三、适用范围、市场前景

本项目所设计的多频段太赫兹探测器芯片解决了传统太赫兹探测器体积庞大、探测频段单一等问题，在无损检测等领域具有广泛的应用前景。

四、投资概算

300万元。

五、合作方式

转让、转让加提成、合作生产。