一、项目成果简介

本项目基于0.18um CMOS工艺制备了多种不同结构的太赫兹片上天线，设计了圆形双圆弧开槽片上天线 、菱形对角线开槽天线、 单环差分天线和双环嵌套差分天线。

二、性能指标

双环嵌套差分天线尺寸为243×185μm2，谐振频率点为606GHz 和 792GHz，对应的带宽分别是8GHz和14GHz，增益分别为 7.2dB@606GHz 和 4.04dB@792GHz；圆形双圆弧开槽天线尺寸为293×260μm2，谐振频率点为300GHz，带宽14.7GHz， 增益为 5.3dB@300GHz；菱形对角线开槽天线尺寸为 254×208μm2，谐振频 率点为 300GHz，带宽 12.67GHz，增益为 5.9dB@300GHz；单环差分天线 尺寸为 243×185μm2，谐振频率点为 300GHz，带宽 14GHz，增益为 5.7dB@300GHz。

三、适用范围、市场前景

性能良好的小型化太赫兹片上天线不仅可以提高探测器的探测质量、节约生产成本，也是设备整体小型化的基础。太赫兹片上天线适用于5G、未来6G通信、生物医疗和工业领域的无损检测，具有非常广阔的应用前景。

四、投资概算

投资概算300万

五、合作方式

转让；转让加提成；合作生产。